Dans la fabrication de circuits intégrés à grande échelle, après chaque étape, il doit être rincé à l'eau. Car lors de la réalisation d'une microfabrication au niveau du micron, il est nécessaire d'éviter le contact avec des impuretés qui vont détériorer les performances du semi-conducteur, et d'empêcher les impuretés de pénétrer dans le conduit de gaz. Afin d'atteindre cet objectif, l'eau utilisée pour le rinçage doit être strictement purifiée et préparée par une machine à eau ultrapure.
L'eau ultra pure nécessaire à la production de circuits intégrés à grande échelle ne peut pas être obtenue à partir de la nature et doit être préparée par une machine à eau ultra pure ou d'autres méthodes. Le raffinage de l'eau ultrapure est divisé en traitement d'eau pure et traitement d'eau pure secondaire. De manière générale, le traitement centralisé de l'eau pure fournie à chaque atelier par la machine à eau ultrapure Smart-S est un traitement d'eau pure, et le traitement effectué par chaque atelier est un traitement d'eau pure secondaire.
La source d'eau purifiée par la machine à eau ultrapure comprend l'eau du robinet urbaine, l'eau industrielle, l'eau de rivière, l'eau souterraine, l'eau de puits, etc. Le prétraitement tel que la filtration doit être effectué en fonction de la nature de la source d'eau et de l'eau, puis le une membrane perméable et un échange d'ions doivent être utilisés. La membrane élimine la suspension fine et les substances qui y sont dissoutes à titre d'exemple pour obtenir la qualité d'eau requise dans la production de circuits intégrés. L'eau pure préparée par la machine à eau ultra-pure est déjà très propre, mais il est très facile de dissoudre d'autres substances. Par conséquent, pendant le stockage et le transport, vous devez faire attention à ne pas être recontaminé.
Afin de garantir que la qualité de l'eau répond pleinement aux exigences, un raffinage est requis sur le site d'utilisation, c'est-à-dire le traitement secondaire de l'eau pure de la machine à eau ultrapure. L'équipement secondaire de traitement de l'eau pure est installé dans ou à proximité de la salle ultra-propre où sont fabriqués les dispositifs à semi-conducteurs. La machine à eau ultrapure Smart-S requise pour le traitement secondaire de l'eau pure comprend un dispositif de stérilisation aux ultraviolets, un dispositif d'échange d'ions à cassette sans régénération, un microfiltre et un filtre à membrane de superfiltration, etc., après une telle série de préparations strictes. L'eau ultrapure obtenue peut répondre la demande en eau dans la fabrication des circuits intégrés.
